1、表面淬火：精密減速機(jī)常見的表面淬火方法有高頻淬火(對(duì)小尺寸齒輪)和火焰淬火(對(duì)大尺寸齒輪)兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時(shí)，齒面硬度可達(dá)45-55HRC.
2、滲氮：采用滲氮可保證齒輪在變形最小的條件下，減速機(jī)達(dá)到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進(jìn)行精加工，提高了承載能力。
3、滲碳淬火：精密減速機(jī)滲碳淬火齒輪具有相對(duì)較大的承載能力，但必須采用精加工工序(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度。
滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的分?jǐn)?shù)為0.2%-0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58-62HRC范圍內(nèi)，若低于57HRC時(shí)，硬面強(qiáng)度顯著下降，高于62HR則脆性增加。
滲碳淬火齒輪的硬度，從齒輪表面至深層逐漸降低，而有效滲碳深度規(guī)定為表面至硬度5.25HRC處的深度。
精密減速機(jī)滲碳淬火在齒輪彎曲疲勞強(qiáng)度方面的作用除使心部硬度有所提高外，還在于表面的殘余壓應(yīng)力。它可使應(yīng)力區(qū)的應(yīng)力減小，因此磨齒時(shí)不能磨齒根部分。
